طراحی و شبیه سازی سنسور شتاب سنج رزنانس با تکنولوژی mems در محدوده 50g

در این پروژه ساختار جدیدی برای شتاب سنج رزنانس پیشنهاد و شبیه سازی شده است. اساس کار این شتاب سنج به این صورت است که شتاب اعمالی به جرم متحرک سبب اعمال نیرو به آن می شود. نیروی اعمالی به جرم متحرک از طریق دو نوع مکانیسم میکرواهرم تقویت شده و به نوسانگر منتقل می شود. نیروی اعمال شده به نوسانگرها با تغییر استرس اعمالی به آنها سبب تغییر فرکانس رزنانس آنها می شوند. بنابراین با توجه به تغییرات فرکانس رزنانس نوسانگرها می توان شتاب اعمالی را اندازه گیری کرد. در این ساختار به جهت رسیدن به حساسیت بیشتر در رنج g50± از دو نوع مکانیسم میکرواهرم به طور همزمان استفاده شده است. ساختار دیفرانسیلی به کار رفته در این شتاب سنج، به افزایش حساسیت، خطی تر شدن linearity)) عملکرد شتاب سنج، حذف حساسیت به شتاب های اعمالی در جهات محور ناخواسته z (cross axis sensitivity) و همچنین حذف نویزهای محیطی کمک می کند. با شتاب سنج پیشنهاد شده در این پایان نامه به حساسیت بالا (653 hz/g) در رنج g50± دست یافته ایم. سایز شتاب سنج کوچک و برابر 558um×684um می باشد.